NTHU PME Micro Device Labatory 清華大學微機電實驗室

林宗賢 現職：SENSIRION 公司／學校網頁：http://www.sensirion.com/ 博士畢業論文：微小型體聲波元件之設計與製造 技術專長： 實驗室經驗： 微影：黃光-單/雙面對準機。 厚膜光組製程-AZ4620, polyimide. 長膜：電漿輔助汽相沉積系統(PECVD): 氧化矽與氮 ...

mdl.pme.nthu.edu.tw